Modificarea tensiunii indusă de încărcare
Alterarea tensiunii induse de încărcare (CIVA) este o tehnică de identificare și analiză a defectelor și defectelor utilizată la fabricarea circuitelor integrate cu semiconductori în tehnologia CMOS .
Teoria funcționării
Tehnica utilizează microscopie electronică de scanare pentru depanare . Scanarea unui fascicul de electroni pe suprafața unui dispozitiv electric poate duce la acumularea de sarcini suplimentare pe conductorii deconectați de restul circuitului (conductori plutitori). Dacă un dispozitiv CMOS este activ părtinitor, prezența conductoarelor deschise ar putea permite circuitului să funcționeze la rate de ceas reduse din cauza tunelurilor . Prin injectarea de sarcini în conductoare plutitoare care se dovedesc a funcționa cuantic, este posibil să se producă o sarcină suplimentară care poate fi detectată prin monitorizarea curentului sursei de alimentare. Aceste variații ale curentului de alimentare pot fi asociate cu imaginea vizuală a dispozitivului la coordonatele în care se găsește variația. Rezultatul este realizat într-o imagine SEM cu o suprapunere a conductoarelor plutitoare.