Triclorosilan

Această intrare sau secțiune despre subiectul halogenuri nu citează sursele necesare sau cei prezenți sunt insuficienți . Puteți îmbunătăți această intrare adăugând citate din surse de încredere în conformitate cu liniile directoare privind utilizarea surselor .

Această intrare pe tema halogenurilor este doar o schiță . Contribuiți la îmbunătățirea acestuia în conformitate cu convențiile Wikipedia .

Triclorosilan
Caracteristici generale
Formula moleculară sau brută	Cl 3 HSi
Masa moleculară ( u )	133,89
numar CAS	10025-78-2
Numărul EINECS	233-042-5
PubChem	24811
ZÂMBETE	[SiH](Cl)(Cl)Cl
Informații de siguranță
Editați datele pe Wikidata · Manual

Triclor, având HSiCl ₃ ca o formulă brută , este un compus anorganic , este lichid și incolor , la temperatura camerei , toxic , inflamabil și coroziv , caracterizat printr - o presiune a vaporilor de 6,7 kPa la 21 ° C Se transportă în stare gazoasă presurizată cu azot la 138 kPa.

Aplicații

În industria semiconductorilor , triclorosilanul este utilizat pentru depunerea epitaxială de siliciu , în special pentru straturile mai groase (> 5 µm) și dacă nu este crucial să se realizeze tranziții de profil ascuțite și să se controleze strâns grosimea filmului.

Alte proiecte

• Wikimedia Commons conține imagini sau alte fișiere despre triclorosilan

Portalul chimiei : portalul științei compoziției, proprietăților și transformărilor materiei