Duoplasmatron
Duoplasmatronii sunt tunuri ionice inventate de Manfred von Ardenne . Emisivitatea electronică se bazează pe catodul cu filament fierbinte care, datorită efectului Edison, emite electroni în interiorul camerei de ionizare a capului de ioni într-un mod similar cu ceea ce se întâmplă în becurile incandescente obișnuite. Un gaz nobil , de obicei Argon , este introdus în cantități de câteva SCCM în cameră și este ionizat datorită interacțiunii atomilor săi cu electronii emiși de filament, formând un nor de plasmă .
Plasma trece în camera de accelerație și este accelerată de câmpul electric format între grilele de grafit și emis de deschiderea capului ionic la viteză mare, formând un fascicul ionic cu o culoare caracteristică violet-albastru.
Tunurile Duoplasmatron sunt utilizate în diverse procese pentru depunerea semiconductoarelor , metalelor și izolatorilor într-o variantă care se numește în mod obișnuit pulverizare și pentru propulsia sondelor spațiale ( propulsie cu fascicul de ioni ).
Ele sunt, de asemenea, utilizate ca sursă a fasciculului primar în spectrometria de masă ionică secundară .
linkuri externe
- ( EN ) Animație a unui duoplasmatron la CERN din Geneva , pe psdoc.web.cern.ch .
