Sonda de tensiune laser
Această intrare sau secțiune despre inginerie nu citează sursele necesare sau cei prezenți sunt insuficienți . |
Sonda de tensiune laser este un sistem grafic de achiziție a tensiunii bazat pe laser , care este utilizat pentru depanarea circuitelor IC fără plumb. Dispozitivul care urmează să fie analizat este decapsulat pentru a expune suprafața de siliciu. Substratul de siliciu este subțiat mecanic cu ajutorul unui instrument de subțiere. Dispozitivul subțiat este apoi montat pe o etapă de traducere și conectat la o sursă de solicitare electrică. Măsurătorile semnalului se efectuează prin partea din spate a dispozitivului după subțierea suportului. Dispozitivul testat trebuie stimulat electric folosind un model de testare iterativ, cu un impuls de declanșare de referință furnizat sondei. Funcționarea sondei de tensiune laser este ca cea a unui osciloscop.
Teoria funcționării
Instrumentul măsoară semnale de tensiune variabilă în regiunile de difuzie ale dispozitivelor. Imaginea dispozitivului se face prin utilizarea unui microscop cu scanare laser. Sonda cu raze laser utilizează două lasere pentru a realiza atât achiziția de imagini, cât și graficele. Un laser este utilizat pentru a obține imaginea sau graficul de pe dispozitiv, în timp ce celălalt laser oferă o referință care poate fi utilizată pentru a scădea zgomotul nedorit din datele de semnal achiziționate. Pe un dispozitiv activ electric, instrumentul monitorizează schimbările de fază ale câmpului electromagnetic care înconjoară un semnal care este aplicat unei joncțiuni supuse testului.
Instrumentul obține graficul tensiune versus timp prin monotorizarea interacțiunii dintre lumina laser și variațiile câmpului electric de pe joncțiunea pn. Când laserul ajunge la suprafața siliconului, o anumită cantitate de lumină este returnată. Cantitatea de lumină laser reflectată de joncțiune este eșantionată în timp în diferite puncte. Câmpul electromagnetic variabil de la joncțiunea pn afectează cantitatea de lumină laser returnată. Trasând variațiile luminii laser reflectate în funcție de timp, este posibil să se construiască o formă de undă a semnalului la joncțiune. Deoarece modulul de testare continuă să fie iterat, măsurătorile succesive sunt dobândite și mediate cu cele anterioare. Pe o perioadă de timp, luarea acestor medii de măsurare are ca rezultat o formă de undă din ce în ce mai rafinată. Rezultatul este un grafic reprezentativ pentru semnalul electric prezent în joncțiunea pn.
